空氣中的微粒在光的照射下會發生散射，這種現象叫光散射。光散射和粒子大小、光波波長、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關。但是就散射光強度和空氣粒子大小而論，有一個基本的規律，是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大。這樣只要測定散射光的強度就可推斷微粒的大小了，這就是
粒子計數器的基本工作原理。
實際上，每個粒子產生的散射光強度都較弱，是一個非常小的光脈沖，需要通過光電轉換器的放大作用，把光脈沖轉化為信號幅度大些的電脈沖，然后在經過電子線路的進一步放大和甄別，從而完成對大量電脈沖的計數工作。此時，電脈沖數量對應的是微粒的個數，電脈沖的幅度對應的是微粒的大小。
粒子計數器的詳細工作原理：來自光源的光線被透鏡組1聚焦于測量腔內，當空氣中的每一個微粒快速的地通過測量腔時，會把入射光散射一次，形成一個光脈沖信號。這一光信號經過透鏡組2被送到光檢測器，正比地轉換成電脈沖信號，再經過儀器電子線路的放大、甄別，揀出需要的信號，通過計數系統顯示出來。
流量有0.1cfm（2.83L/min），1cfm（28.3L/min），還有50L/min，100L/min，流量越大，每分鐘采集的空氣數據越多，也就越能代表潔凈室的真實潔凈度水平。都采用的是“立方英尺"換算成的“升"。1立方英尺=28.3168升。
粒子計數器原來都是根據的標準來的生產的，生產的是0.1立方英尺/升的東西，就是2.83L/min的。所以，一般建議用28.3L/min或以上的流量的粒子計數器。
